クリーンケーブル(アウトガスレスケーブル)

アウトガスが少なく、しかもほこりの出ないケーブルです。ケーブルを真空状態や加熱状態にしますとガスを発生することがあります。すると、真空度を低くしたり、他の製品の純度を低くしたり、観察窓をくもらせたりします。
キーコムは使用する材料を厳選し、アウトガスのないケーブルを提供しています。また、これらケーブルからはほこりもでないよう配慮しています。ほこりからはアウトガスの出ない場合もありますが、ほこりは、生産しようとしている半導体などの品質に重大な影響を与えます。なお、ほこりはケーブルの端部から、発生しやすく、また屈曲したときに出やすいのです。

使用する材料

米国航空宇宙局(NASA)および日本の宇宙開発事業団(NASDA)が推奨する試験方法　ASTM　E595-77(STANDARD　TEST　METHOD　FOR　TOTAL　MASS　LOSS　AND COLLECTED VOLATILE CONDENSABLE MATERIALS FROM　OUTGASSING IN　A　VACUUM　ENVIRONMENT)を用い、また、同様に推奨している判定基準に合格している材料もしくは部品番号の材料を用います。

試験条件

1)測定する材料を、23±1 degree　50±5%RHに24時間保管する。
2)同上の材料、および凝縮物を付着させるコレクタプレートの初期値を計量する。
3)材料をアウトガス測定装置の加熱棒に入れ、コレクタプレートを冷却板に取り付け、次の条件で24時間保持する。

真空度	5×10-5　Torr以下
材料加熱温度	・125± 度
放出ガス冷却温度	25±1 度
保持時間	24時間

4)24時間経過後、材料およびコレクタプレートを取り出し、計量し、TML(質量損失およびCVCM(再凝縮物質量比)を算出する。

判定基準

TML:1．0%以下　　CVCM:0．1%以下

また、キーコムはベーパーリークのない方法でケーブルを真空璧に貫通させたり、コネクタを取り付けることも行なっています。