300GHz~1μHz(超高周波/ミリ波/マイクロ波/UHF/VHF/超低周波)のキーコム:
ご要望に応じて少量から設計・製作・測定 致します。お気軽にお問合せ下さい。

エリプソメトリー法
比誘電率/比透磁率(εr'/ μr')測定装置・システム

Model No. DPS02
スカラー測定であるため、高価なベクトルネットワークアナライザを必要としません。
また、反射係数のTE波とTM波の振幅比と位相の差を測定することにより、複素比誘電率および複素比透磁率を求めることができます。
同軸管タイプや導波管タイプと違い、フィクチャ内にサンプルを入れないため、エア・ギャップによるエラーが発生しません。
また、アンテナにレンズを取り付けていますのでコンパクトにかかわらず、サンプルを平面波で測定できます。
また、アンテナ近傍にサンプルをセットできるので、サンプルを小さくできます。
なお、比誘電率と比透磁率が周波数ごとにわかります。

仕様

周波数範囲 26.5-110GHz
εr'、μr 1.05-50   精度±7%
εr''、μr'' 

0.01-10    精度±15%

試料の大きさ 100 x 200mm以上
試料の厚さ 20mm以下
最小入射角(半角) 15°
最大入射角(半角) 80°
*高周波になるに従い、小さな試料でも測定できます。

オーダー情報 - Model No. および 部品番号(もしくはご要望) をお知らせください

品名 詳細 部品番号
本体  レンズ、レンズ固定枠、アンテナ固定台、
 キャリブレーション用金属板
LAF-18A
アンテナ(導波管接続タイプ) 2個 WR-10タイプ(75-110GHz) RH10R23
  WR-15タイプ(50-75GHz) RH15R23
  WR-22タイプ(33-50GHz) Rh22R23
アンテナ(同軸導波管変換器付) WR-28タイプ(26.5-40GHz) Rh28S23SMA(f)7
アンテナ回転部2個および制御システム   AR-01

エリプソメトリー法 制御および計算ソフトウエア

  DMP-72
ミリ波用ケーブル、アダプタ等    
Windows PC(プリンタ付)    
スカラーネットワークアナライザ    
GPIB接続ケーブル   GP-01

構成