300GHz~1μHz(超高周波/ミリ波/マイクロ波/UHF/VHF/超低周波)のキーコム:
ご要望に応じて少量から設計・製作・測定 致します。お気軽にお問合せ下さい。

静電容量方式
平面板、液体、ジェル、極薄膜、複合薄膜
比誘電率/誘電正接(εr'/tanδ)測定装置・システム

Catalog No. dps17002040705-04

平面板、液体、ジェル の比誘電率およびtanδを測定するシステムです
(-50度から400度まで対応可)。
なお、薄膜、半導体ウェハ上の薄膜およびフィルムの測定には、測定用電極DPT-009と電極用助剤を用います。
CPUによる外部制御をするインターフェースを持っています。
*この他にWindows PC と プリンター、室温以外で測定する場合には恒温槽が必要です。

仕様

測定周波数対応範囲 1цHz ~ 10MHz
機種により異なる
測定の範囲および精度 比誘電率:1.05-1000   精度±7%
tanδ   :0.001-0.1   精度±15%
測定温度 -50度 ~ 400度
-測定は自動で行います。
-電極構造を工夫することにより、100MHzまでの測定が可能です。

ご発注の仕方(下記モデル番号もしくはご要望をお知らせください)

部位 仕様   モデル番号
静電容量計(本体) 100Hz-10kHz用 1цHz ~ 100kHz CME-100k-02
100Hz-100kHz用 100Hz ~ 5MHz CME-5M-02
100Hz-1MHz用 100kHz-120MHz CME-120M-02
その他ご要望にあわせてご提案いたします。    
測定用電極 平板、液体、ジェル測定用電極 -50℃~200℃ 1цHz ~ 10MHz DPT-009
液体用誘電率精密測定電極 凍結温度~90度
Dielectric constant accurate measurement tool for liquid
(JIS規格  JIS C2101)
1цHz ~ 100kHz DPT-012
液体用測定用電極(パイプタイプ) 凍結温度~200℃
(サンプル用量 50ccタイプ or 200ccタイプ)
1цHz ~ 5MHz DPT-013-050
DPT-013-200
高温タイプ平板測定用電極 -50~400℃
Testing method of ceramic insulators for electrical and electronic applications
(JIS規格 JIS C 2141)
1цHz ~ 1MHz DPT-2141
誘電率解析プログラム 温度と誘電率の関係がグラフ化でき、エクセル処理できる。   DMP-002040705-05
USBタイプGPIBカード コンピュータと測定器の接続に使用する。   GP-01
パーソナルコンピュータ
プリンタ
Windows対応
電極用助剤 電極と試料の間に介在させる導電性液体(10cc)   CL-01
恒温槽 常温~200℃   TCOV-03

測定結果

測定結果はコンピュータで計算処理され、下記のようなグラフとしてプリントアウトされます。
また、数値もファイル化され、EXCEL等で各種の加工ができます。


試料形状および測定用電極構成

DPT-009 DPT-012
80mm φ x 180mm height    注)ケーブル付 JIS-C2101 準拠の測定治具     注)ケーブル付
試料形状 大きさ・量 空のとき(校正時)の静電容量
Capacitance
88PF±5PF
シート 0.1 (0.01μm) -5mm厚
30mmφ~55mmφ
液体使用量
Liquid Volume for Test
50cc以上
液体・ジェル 1cc以上    
電極用助剤を用いると、0.01μm~0.1mm厚の薄膜などが測定できます。  

DPT-013 DPT-2141
注)ケーブル付 JIS-C2141 準拠の測定治具      注)ケーブル付

モデル番号 液体使用量 サイズ 試料形状 大きさ
DPT-013-050 50ccタイプ 30mm φ x 100mm シート板 JIS-C2141 準拠のサイズ、 φ 37mm 以上
DPT-013-200 200ccタイプ 34mm φ x 150mm