エリプソメトリー法比誘電率/比透磁率(εr'/ μr')測定装置・システム

スカラー測定であるため、高価なベクトルネットワークアナライザを必要としません。
また、反射係数のTE波とTM波の振幅比と位相の差を測定することにより、複素比誘電率および複素比透磁率を求めることができます。
同軸管タイプや導波管タイプと違い、フィクチャ内にサンプルを入れないため、エア・ギャップによるエラーが発生しません。
また、アンテナにレンズを取り付けていますのでコンパクトにかかわらず、サンプルを平面波で測定できます。
また、アンテナ近傍にサンプルをセットできるので、サンプルを小さくできます。
なお、比誘電率と比透磁率が周波数ごとにわかります。