300GHz~1Hz(超高周波/ミリ波/マイクロ波/超低周波)のキーコム
ご要望に応じて少量から設計・製作・測定 致します。

比誘電率・誘電正接・比透磁率 測定システム

Model No. DPS
25年以上の経験、高いリピーター率、多数の納入実績 
1. 誘電率・透磁率に関する豊富な測定経験と専門知識

25年以上の測定サービス実施経験や、IEC(国際電気標準会議)、JISに委員として参画し、先進的な測定方法について提案・規格化してきた知見を踏まえ、最適な測定装置を的確にご提案できます。
固体・シート・フィルム・粉体・液体・多層構造体などのほとんどの材料の測定ニーズをカバーできます。

2. 高精度かつ実用的な測定装置
豊富な経験・知見を踏まえ、ニーズにお応えする高性能な測定装置を提案いたします。
スペックの一例は次のとおりです(詳細はご相談下さい)。

・±1%の高精度 
・非破壊 
・0.1μm極薄膜対応 
固体・シート・フィルム・粉体・液体(オイル等を含む)・多層構造体等の測定が可能
・測定可能範囲 10μHz-140GHz(複数機器使用)
3. 柔軟かつ迅速なカスタマイズ・コンサルティング
弊社の測定装置は国内で製作しております。したがって、カスタマイズのご要望や技術的な相談などに対し、柔軟かつ速やかにお答えすることが可能です。
また、フレキシブル基板用、半導体用、薄膜用、マイクロ波・ミリ波基板用、マイクロ波・ミリ波共振器用、および液体用など、目的に応じた装置の開発が可能です。
4. サポート体制
ご購入後、困ったことがございましたらお気軽にお電話ください。
我々のわかる範囲ではございますが、創業28年の知見に基づきアドバイスさせていただいております。

キーコムの技術者は電気系のみならず化学系を揃えており、
解析など化学系のお客様、電気系のお客様の双方のご要望にお応えできる体制を心掛けております。
また、財務基盤は下記であり、長きに渡りサポート可能な体制を確立しております。
お気軽にお問い合わせください。

創業年:1992年
社員数:50名
年商:12億円(3年平均)※創業以来赤字年度なし
自己資本比率:75%


1.測定方法各種

代表的な場合についてのみ、記載しております。下記以外のものについてはお問い合わせください。
Ο : 最適
∆ : 測定可能
    多層構造体 プリント基板 フィルム(極薄膜) 粉体 シート(板) ファントム 電波吸収材料 ノイズ抑制シート コンクリート
アスファルト
果物
野菜
液体 レドーム
カバー
セラミックス 誘電体共振器 半導体 強誘電体  
1 .開放型共振器 20GHz~330GHz Ο Ο Ο Ο Ο Ο     共振法シリーズ
低損失材料に適
高精度
ポイント周波数
位相測定はいらない
2. TM空洞共振器 200MHz~10GHz Ο Ο Ο Ο Ο Ο Ο Ο Ο   Ο
3. TE空洞共振器 10GHz~40GHz   Ο      Ο   Ο Ο Ο    
4. ストリップライン共振器 800MHz~14GHz Ο Ο Ο Ο
5. マイクロストリップライン共振器 800MHz~14GHz Ο Ο Ο Ο
6. 円板共振器 3GHz~70GHz Ο Ο Ο Ο
7. LC共振器 10MHz, 50MHz, 100MHz Ο Ο Ο      
8. 平行導体板型誘電体共振器 3GHz~26.5GHz Ο Ο  
9. フリースペース周波数変化法
2.6GHz~110GHz Ο Ο Ο Ο Ο Ο           周波数変化法シリーズ
低損失材料に適
厚みのある試料に適
10. 閉鎖系周波数変化法(同軸管、導波管) 10MHz~60GHz Ο Ο   Ο Ο Ο           Ο
11. プローブ方式 (オープン)Sパラメータ法 30MHz~90GHz Ο Ο Ο Ο Ο Ο Sパラメータ法シリーズ
高損失材料に適
精度は低いが、幅広い周波数特性を測定できる
12.13.14. は透磁率も同時に測定可能
12.  プローブ方式 (ショート)Sパラメータ法 100kHz~10GHz Ο Ο
13. 閉鎖系Sパラメータ法(同軸管、導波管
μrも同時に測定可能
12MHz~40GHz Ο Ο Ο Ο
14. フリースペースSパラメータ法
μrも同時に測定可能
2.6GHz~110GHz   Ο               Ο
15. フリースペース入射角変化方式Sパラメータ法
μrも同時に測定可能
2.6GHz~110GHz Ο Ο Ο Ο Ο
16. 伝搬遅延同軸管方式Sパラメータ法
45MHz~40GHz Ο Ο Ο Ο Ο Ο Ο
17. 低周波用開放同軸反射法 1MHz-1GHz Ο Ο        
18. 静電容量方式 1Hz~1GHz Ο Ο Ο Ο 静電容量法シリーズ
低周波帯が測定可能
高精度
幅広い周波数特性を測定できる
19. MOSFET構造半導体空乏層
およびゲート電極直下誘電体膜
20Hz~2MHz               Ο
20. エリプソメトリー法
μrも同時に測定可能
26.5~110GHz Ο Ο Ο エリプソメトリー法シリーズ













2. 代表的な測定方法 ※詳細は 1. 測定方法各種 参照

静電容量方式

静電容量方式 平面板、液体、ジェル、極薄膜、複合薄膜  比誘電率・誘電正接 (εr'/tanδ) 測定装置・システム [DPS17]
各種誘電材料の静電容量、比誘電率および誘電正接を測定します。
高精度の分解能と幅広い測定レンジを持っています。

共振方式  (JIS化・開放型共振器法 JIS R 1660-2)

キーコム(株)鈴木洋介が規格案作成に委員として参加し、2004年春に正式に規格化されました

共振方式 開放型共振器タイプ シート用および極薄シート用  ミリ波 比誘電率、 誘電正接(εr'/tanδ) 測定装置・システム [DPS03]
開放型共振器の一種のファブリペロー(Fabry-Perot)共振器を用いていますので、ミリ波領域での測定精度が高いとともに、試料の出し入れが簡単な薄膜対応測定装置です。tanδが小さくても測定できることも特長です。
WindowsPCで自動測定いたします。
本手法については、2005 IEEE Instrumentation and Measurement Technology Conference OTTAWA,ONTARIO,CANADAにて発表したほか、2004年にJIS規格に制定されました(JIS R 1660-2)
 
 
摂動方式 試料穴閉鎖形 空洞共振器法 極薄シート用 比誘電率、誘電正接 (εr'/tanδ) 測定装置・システム [DPS18]
試料のマイクロ波におけるεrおよびtanδを測定する摂動法の高精度測定装置で、ASTM D2520に準拠しています。 また、これは1992年にJISC2565としてJIS規格に定められている方法を、試料を挿入する穴を金属で閉鎖することにより、測定精度を高めたものです。

・±1% tanδ ±3% の高精度測定
・0.1μm極薄膜 測定可能
・多層体(蒸着膜等) 測定可能
・固体・シート・フィルム・粉体・液体(オイル等を含む)・多層構造体等の測定が可能
・簡単な操作
・測定範囲 200MHz-20GHz

プローブ方式

プローブ方式 オープン法 比誘電率・誘電正接 (εr'/tanδ) 測定装置・システム [DPS16]
・低周波(30MHz)から高周波(90GHz)まで選択することが可能です。
・固体、液体、粉体を試料として使用できます。
・純水以外の基準/標準試料を使うことが可能です(アセトン等)。
・操作が簡単です。
 

Sパラメータ方式

Sパラメータ方式  反射法および透過法 同軸管、導波管タイプ、比誘電率、誘電正接、比透磁率 (εr'/tanδ/ μr'/ μr'') 測定装置・システム [DPS08]
本測定装置は、反射法および透過法の2つの測定法で測定できるようになっており、目的に応じて使い分けが出来ます。
いずれの測定法も複素εrと複素μrが同時に測定できますが、各測定法の使い分けを次に示します。
なお、電波吸収材料の吸収率と反射率は複素εrと複素μrから計算により求めます。
 
Sパラメータ方式  フリースペースタイプ 平板用透過法 比誘電率、比透磁率 (εr'/μr') 測定装置 [DPS24]
同軸管タイプや導波管タイプと違い、フィクチャ内にサンプルを入れないため、エア・ギャップによるエラーが発生しません。また、試料の場所により、特性ムラがあったり、凹凸がある場合に実用にあったデータが得られます。
アンテナにレンズを取り付けており、コンパクトでありながら、サンプルを平面波で測定できます。
測定は、テストフィクスチャにベクトルネットワークアナライザとコンピュータを接続し、SパラメータS21およびS11を観測することにより行います。

透過減衰量方式

ミリ波 比誘電率/誘電正接(εr'/tanδ) および透過減衰量 測定システム [RTS02]

ミリ波が平板を透過するときの周波数と透過減衰量の関係から比誘電率とtanδを求めます。
 *測定値は測定周波数帯域での平均値となります。実用上の問題はありません。
アンテナにレンズを取り付けており、コンパクトながら、サンプルを平面波で測定でき、高い測定精度が 得られます。
アンテナ近傍にサンプルをセットでき、サンプルを小さくできます。
なお、オプションのソフトウエアを用いて電波吸収材料等の反射減衰量の測定もできます。 

 
測定周波数範囲 26.5~110GHz
試料の大きさ 100mm × 100mm以上、300mm × 300mm以下