300GHz~1Hz(超高周波/ミリ波/マイクロ波/超低周波)のキーコム
ご要望に応じて少量から設計・製作・測定 致します。

開放型共振器法 
比誘電率/誘電正接 測定システム
[フィルム, 薄膜, シート, 液体, ミリ波, 高精度, Dk, Df, εr', tanδ, 誘電損失, 測定装置]

Model No. DPS03
ミリ波高精度測定! 20GHz ~ 330GHz の測定に最適!!
開放型共振器の一種であるファブリペロー(Fabry-Perot)共振器を用いていますので、
ミリ波領域での測定精度が高いとともに、試料の出し入れが簡単な薄膜対応測定装置です。
tanδが小さい試料が測れることが特長です。

また、高周波帯で低損失の液体を測定できる手法としても人気です。

・ PTFE@76.5GHz / εr' 2.05, tanδ 0.0004 の高精度測定
・ 5 μm 極薄膜 測定可能
・ 簡単な操作
・ 高周波帯でのオイル、溶剤測定
・ 測定範囲 20GHz-330GHz

論文

極薄シートの測定法について、下記の論文になりました。
IEEE TRANS, INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT VOL. 57, No. 12, DEC 2008.

対応規格

2004年にJIS規格に制定されました。
JIS R 1660-2

測定試料例

プリント基板, フィルム(極薄膜, 極薄シート), レドームカバー, セラミックス, 樹脂(レジン), 液体 等

電界方向

地面に平行に縦または横、試料面内(平面)方向に縦または横 ⇒ 試料面内方向の異方性の確認が可能

仕様

周波数範囲 20~330GHz
比誘電率 測定範囲: 1.05~30
Accuracy( 繰り返し精度):  ±1% もしくは ±0.01 (ネットワークアナライザの精度に依存する)
繰り返し精度+真の値に対する正確度(PTFEを基準とした):  ±3% もしくは ±0.01 (測定理論および治具の設計に依存する)
誘電正接 測定範囲: 0.0001~0.05 
Accuracy( 繰り返し精度): ±3% もしくは ±0.0001 (ネットワークアナライザの精度に依存する)
繰り返し精度+真の値に対する正確度(PTFEを基準とした): ±7% もしくは ±0.0001 (測定理論および治具の設計に依存する)
試料形状 <試料の大きさ>
・120mm x 120mm以上 (20GHz)
・80mm x 80mm以上 (50GHz)
<試料の厚み>
5 μm~0.2mmのシート
または実効波長の1/2の整数倍
装置の大きさ 900mm(H) x 900mm(W) x 600mm(D) 以内
500mm(H) x 700mm(W) x 300mm(D) 以内 (片平タイプ)
温度範囲 通常仕様:常温
特殊仕様はお問い合わせください。

構成


外観

MDM-02(フィルム用/板材用)

MDM-12(液体用/板材用)

データ例

石英

測定周波数 測定結果
比誘電率 誘電正接
256GHz
(240GHz~260GHz)
3.82
周波数変化法での測定結果@250GHz:3.81
0.0015
周波数変化法での測定結果@250GHz:0.0016


オーダー情報 - 部品番号(もしくはご要望) をお知らせください

商品コード 部品番号 品名 仕様
DPS03-MD02 MDM-02 精密自動移動台 全周波数共通
DPS03-MD12 MDM-12 精密自動移動台(片平タイプ/液体測定用) 全周波数共通
DPS03-CV033 FPR-33B 同軸typeファブリペロー共振器 20-33GHz用
DPS03-CV040 FPR-110Coax 同軸typeファブリペロー共振器 20-110GHz用 ※導波管typeよりQ値が低い
DPS03-CV040 FPR-40 導波管typeファブリペロー共振器 26.5-40GHz用
DPS03-CV050 FPR-50 導波管typeファブリペロー共振器 33-50GHz用
DPS03-CV060 FPR-60 導波管typeファブリペロー共振器 39-60GHz用
DPS03-CV075 FPR-75 導波管typeファブリペロー共振器 50-75GHz用
DPS03-CV090 FPR-90 導波管typeファブリペロー共振器 59-90GHz用
DPS03-CV110 FPR-110 導波管typeファブリペロー共振器 75-110GHz用
DPS03-CV140 FPR-140-X 導波管typeファブリペロー共振器 110-140GHz用
DPS03-CV170 FPR-170 導波管typeファブリペロー共振器 140-170GHz用
DPS03-CV200 FPR-200 導波管typeファブリペロー共振器 170-200GHz用
DPS03-CV220 FPR-220 導波管typeファブリペロー共振器 200-220GHz用
DPS03-CV260 FPR-260 導波管typeファブリペロー共振器 220-260GHz用
DPS03-CV300 FPR-300 導波管typeファブリペロー共振器 260-300GHz用
DPS03-CV330 FPR-330 導波管typeファブリペロー共振器 300-330GHz用
DPS03-PG01 P118050123-01 ソフトウエア(全周波数共通) シート用:実効波長の1/2の整数倍厚さ用
DPS03-PG02 P118050123-02 オプション ソフトウエア 極薄シート用(全周波数共通)
CB01-2.9m/m -1000 CM06D-AA-1000 同軸ケーブルアセンブリ(1m) 周波数により、適切なケーブルをご提案いたします(2本)。
VNA VNA ネットワークアナライザ ご希望の場合には適切なものをご提案いたします。
PC001 PC Windows PC ご希望の場合には適切なものをご提案いたします。
GP001 GP-01 GPIBインターフェース  

Customers (Area or Country, sales)

D(Japan, US$70 billion), H(Japan, US$600 billion), T(Japan, US$20 billion), K(Japan, US$500 billion), M(Japan, US$600 billion)
ITRI(Taiwan, -), F(Asia, US$600 billion) , S(Asia, US$1 billion), H(Asia, US$800 billion), DS(Asia, US$2 billion) etc.